Установка получения оптических покрытий методом химического осаждения из газовой фазы (МХОГФ)

Процесс получения оптических покрытий МХОГФ включает в себя вопросы технологии получения пленок, а также высокочистых летучих исходных компонентов – элементоорганических соединений (ЭОС), гидридов и галогенов и теоретические аспекты химической кинетики и катализа. Большой интереск методу МХОГФ широкими возможностями создания с его помощью покрытий с высокими оптическими параметрами, которые в ряде случаев значительно превосходят те, что могут быть получены при реализации другими известными способами (вакуумного термического испарения, катодного и магнетронного распыления, ионно-лучевых и химических методов).

Характерные особенности МХОГФ: высокая производительность (скорость осаждения достигает 500 – 600нм/мин) и универсальность (обеспечивается возможность получения различных пленок, в том числе таких, изготовление которых другими методами затруднено: износостойкие и тугоплавкие материалы, пленки, имеющие сложный состав  и различную температуру испарения компонентов). Получаемые при использовании этого метода покрытия имеют мало дефектов, практически лишены пор, обладают высокой механической прочностью и хорошей адгезией к разнообразным подложкам. Равновесный характер протекания процессов МХОГФ позволяет легко провести их термодинамический анализ и контролировать скорость нанесения  и состав покрытия, изменяя температуру, давление в химреакторе или состав газовой фазы.

Метод позволяет варьировать в широких пределах оптические характеристики пленок (A, R, T, n, σp), что очень важно для создания градиентных покрытий. Отличительной особенностью МХОГФ является также то, что в большинстве случаев не имеет значения особенности рельефа и формы подложек. Оптические характеристики покрытий обладают высокой стабильностью и воспроизводимостью. Современное оборудование МХОГФ отличается простотой изготовления, дешевизной (в разы меньше традиционных вакуумных) и несложно при эксплуатации (нужен менее квалифицированный персонал). Высокая производительность, на порядок лучшее качество пленок, минимальные затраты и ненужность сложной аппаратуры ставит этот метод вне конкуренции по сравнению с традиционными, а также хорошей базой (сферой) для частного производства.

Данная технология требует инвестиций.