КВУ-Бериллий описание
Магнетронная установка для напыления на керамику
Нашим предприятием по ТЗ
Российского заказчика была разработана и изготовлена в количестве 2-х штук вакуумная
установка КВУ-Бериллий(УВН-500). Установка предназначена для магнетронного нанесения покрытий
из тугоплавких металлов (молибден и ниобий) на предварительно
разогретую до 500Сº
и активированную поверхность. Установки
успешно внедрены на одном из предприятий входящих в структуру Росатома. По сравнению с установками других производителей
установка имеет значительно лучшие
экономические и энергетические показателей.Установка
укомплектована безмаслянной откачкой-
турбомолекулярным насосом производительностью 3500л.с. Контроль
температуры осуществляется пирометром, измеряется температура подвижных
подложек.В состав установки входят ионный источник, два внутрикамерных магнетрона,
подвижный охлаждаемый экран с нагревателями, охлаждаемый ввод вращения арматуры. Откачка и техпроцесс полностью
автоматизированы.
РАССЫЛКА
Подпишитесь на нашу рассылку и получайте эксклюзивные предложения от нашей компании.
Спасибо! Форма отправлена
Ознакомлен(на) с пользовательским соглашением
КОНТАКТЫ
Доп. телефон
НАВИГАЦИЯ
Copyright © 2022 - 2024 ИП Качанов В.В.
Наш адрес